通常、真空チャンバーの排気系は高真空ポンプ（例、TMP）とそのバックを引く１次ポンプからなる。１次ポンプにロータリーポンプ (RP) を使っている場合、もし停電が起こると RP のオイルがフォアラインを通じて より真空な方へ、つまり高真空ポンプ → チャン…