メインチャンバーのターボポンプが６月半ばに故障し、新ポンプが納品されるまで使えなくなったので、その休止期間を利用して、もともとメインチャンバーの試料導入用である小チャンバー＋小ターボポンプを切り離して本筋の研究と別の物質の製膜に使おうとい…
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