2008-06-14から1日間の記事一覧

曇 昨日までと比べ肌寒い

電気系配線、ロータリーポンプへのオイル注入を行い、チャンバーのすべてのポートを塞ぎ、初めて真空引きをやってみた。時間切れで長時間は引けなかったが、いつもに比べ明らかに真空度の上がりが悪い。まあ想定内だ。時間をかけて原因をつぶしていくしかな…