18日：一日じゅう製膜。 19日：微細加工開始。装置の１つがなかなかうまく動かなかったが、似たトラブルが以前あったのを思い出して日記を検索し、昨年６月２５日と同じ対処をして解決。日記は役に立つ。トラブルシューティングのため予定より遅れてしまった…