KKS で製膜。先週投稿した論文誌のエディタから「前に投稿したバージョンからの変更点をまとめて提出せよ」とのお達しがあったので、書類作成して送信。昼食して職場へ移動。ターゲット回転系組み立てやり直し。チャンバーに装着。 昼食中に中国語やヒンディ…