6/30 (木)：晴、11〜23℃ メインチャンバーで２つの真空計表示比較。うち１つの真空計を２番チャンバーに移設。光学系アライメント。２番チャンバー真空引きしてガス導入して製膜（初）。これだけは今月中に済ませなければならなかった。夕食後再出勤も大して…