9/21 (月)：曇 新チャンバー系部品見積り。夜、カフェデラング。 9/22 (火)：曇→晴 共同研究先にて電子ビーム描画装置の講習。しかし装置不調で中止。帰宅後夕食スキップして寝てしまう。 9/23 (水)：快晴 部品検討。夕方から共同研究先にて装置操作見学。 9…