ターゲット回転プログラム、まだ完成ではないけど何とか使えるようにした。これで少し製膜レベルがアップする。だが一方で試料ホルダーの熱電対が劣化して使えなくなったり、真空計の１つが変な値を示したり、ライトが故障したり、オシロスコープの調子がお…
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