チャンバーの真空度が上がらないなあと思っていたら、真空計のエミッション電流を間違えて１桁高くセットしていたことが判明。 レーザーの調子が悪いなあと思っていたら、230 V の電源につなぐべきところを 115 V につないでいたことが判明。 どちらも装置へ…