チャンバーの圧が飽和してきたので、掲示板で教えてもらった「ビルドアップ法」を試してみた。結果、きれいにリニアに圧が上昇。つまりリークの兆候は見られない。「あと一息」の領域であることもわかる。よかった。とても気が楽になった。迷わずベーキング…
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